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直讀光譜儀的光譜入射光路結(jié)構(gòu)

發(fā)布時(shí)間:2020-01-10 11:03:14         點(diǎn)擊:4676

直讀光譜儀入射光路

直讀光譜儀的入射光路指光譜儀在曝光階段,將光源激發(fā)出來后的光譜光通量全部射入光學(xué)室內(nèi)凹面光柵上。在凹面光柵狹縫掃描時(shí),入射光路輸送從汞燈發(fā)生的光進(jìn)入光柵產(chǎn)生Hg的譜線(汞線253,6nm),由光電倍增管輸出光電流信號(hào)再經(jīng)過放大器放大,用微安表指示出來。當(dāng)光路采用聚焦透鏡直射入射狹縫到達(dá)凹面光柵的分光系統(tǒng)時(shí),不用Hg線進(jìn)行入射狹縫調(diào)整,而是采用元素掃描(通常選擇基體元素)來校準(zhǔn)入射狹縫。

入射光路結(jié)構(gòu)

入射光路除入射狹縫(25m寬)之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個(gè)樣品臺(tái)上激發(fā)的光譜亮度全部反射到射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力,凹面反射鏡表面需涂氟化鎂,入射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內(nèi)。

光路中具有兩個(gè)反射鏡,其中之一是在右樣品臺(tái)激發(fā)樣品時(shí),使反射鏡進(jìn)入光路,汞燈反射鏡退出光路,將激發(fā)光亮反射到球面反射鏡上。然后進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵分光。

移動(dòng)直讀光譜儀

移動(dòng)直讀光譜儀

Hg反射鏡是供狹縫掃描時(shí)用的,當(dāng)左樣品架激發(fā)樣品時(shí),進(jìn)曝光階段,Hg反射鏡將退出光路,使左樣品架激發(fā)光引入球面反射鏡,進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵進(jìn)行分光。

光路中兩個(gè)反射鏡區(qū)域處于非真空狀態(tài)。對(duì)于短紫外線的元素(C、P、S、As、B、Sn等等)這是一個(gè)致命的問題。這個(gè)區(qū)域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量。氧對(duì)于從130195nm的輻射都有吸收,而在140nm附近吸收最激烈。

創(chuàng)想直讀光譜儀對(duì)此重新研制了新的光路結(jié)構(gòu),使得氬氣使用的含量變少了,并且使用真空泵來節(jié)省氬氣的消耗,一般平均一罐氬氣可以使用5-6天,而創(chuàng)想采用了這種結(jié)構(gòu)后,氬氣的使用大大減少,并且上述致命問題得到解決。

 

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